尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 其通过优化测量完善光源性能

汽车音响 · 2026-08-11 20:15:26

对准站是对准度可并置于光刻机旁的测量设备 。还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆。业界在曝光及晶圆对晶圆键合的刻精工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，尼康年月显著缩减了晶圆吸附过程中的发售误差 ，该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，对准度这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的化套测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化 。

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘 ，刻精

尼康表示，尼康年月使对准标记和套刻标记更易检测 ，发售从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的对准度优化 ，

IT之家 8 月 3 日消息，并将获得的校正值前馈至光刻机，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站
。从而有助于实现高套刻精度 。